洁净室与真空轴承微粒发尘量监测标准

测试符合 Class 10 或 Class 100 标准的真空洁净轴承时，工程师通常通过监测多大粒径（如 0.1μm 或 0.21μm 等）的微粒来评估其发尘量？

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在评估符合 Class 10 或 Class 100 极高洁净度标准的真空或无尘室轴承时，工程师通常会使用微粒计数器来监测极小粒径的微粒发尘量（Particle emissions）。根据测试条件和组件类型，主要监测的微粒粒径标准集中在极微观的范围，具体如下：

0.1 μm 或 0.11 μm 级别（极为严苛的测试）这是极其严苛的监测标准，通常用于评估对微粒发尘要求极高的超洁净轴承（Ultra-clean bearings）以及专用的洁净润滑脂。测试中常记录“0.1 μm 及以上（0.1 μm or larger）”或“0.11 μm 及以上”的微粒数量，以确保轴承能满足半导体等极精密设备的零污染要求。例如，在验证无尘室专用脂（如 LG2）的超低发尘特性时，就会将监测基准下探至这一级别。0.2 μm 或 0.21 μm 级别（薄膜涂层与自润滑测试核心）这一粒径标准非常常见，特别是在评估极薄膜润滑（如 V-DFO 涂层）或带有自润滑氟树脂保持架的真空轴承时。测试图表经常显示监测“0.21 μm 或更大（0.21 μm or larger）”以及“0.2 μm”的粉尘数量。数据表明，V-DFO 涂层在此粒径标准下的发尘量远低于传统氟树脂涂层，被证实能够稳定满足 Class 10 级别的严苛环境要求。0.3 μm 或 0.38 μm 级别（常规超纯净评估）在针对一些超洁净轴承在常压或高真空下的基础发尘特性评估中，工程师也会将最低监测粒径设定为 0.3 μm 或 0.38 μm（测量每立方英尺或特定运行时间内的粉尘数）。0.5 μm 级别（系统级组件测试）在针对稍大型组件（如 Compact FA 系列高精度滚珠丝杠）的洁净度测试中，也会以“0.5 μm 及以上（0.5 μm or larger）”的微粒作为发尘量的监测基准。

总结：为了确保组件能够满足 Class 10 到 Class 100 的极限洁净度要求，工程师最常监测的核心微粒粒径通常集中在 0.1 μm 至 0.21 μm 这一区间。通过监测如此微小的粉尘，能最直观地反映极薄润滑膜（如 V-DFO）或低发尘油脂在真空或常压下抑制纳米/微米级机械磨损和润滑剂飞散的能力。

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参考资料：

1、NSK官方网站

2、NSK中国官网